磨痕、划痕深度和堆积物测量样品 Wear Track, Scratch Depth and Pile Up Measurement Example

磨痕、划痕、堆积的测量

一些场合需要磨痕、凹坑的测量例如在划痕实验或者磨损试验后，磨痕的体积及磨损深度需要被计算出来。AEP 三维轮廓仪 — 接触式和基于光学的三维轮廓仪可以以极高的精度及可重复性计算磨损体积、深度、堆积体积等等

以下是一些技术上选择模式的建议

光学三维轮廓仪 NanoMap-WLI

下面提到的两种模式被集成到一个模块上。
白光干涉扫描 /粗扫模式适用于10mm > 磨痕 > 150nm。
相移干涉扫描/精扫模式适用于磨痕 < 150nm。.

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接触式三维轮廓仪 NanoMap-LS

可以以高三维分辨率测试上限达500微米（0.5毫米）的磨痕。
测试表面有较大坡度样品较光学三维轮廓仪更有优势。
无需考虑样品光学反射能力，对于表面污垢的样品也较光学三维轮廓仪有更大的优势。

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接触式+光学三维轮廓仪 NanoMap-D

双模式的 NanoMap 兼备了接触式及光学模式于一身，它可以用来测量任何样品的台阶高度—薄的、厚的、不平整的等等，测量范围从nm到10mm

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