平台

一键切换光学与接触式测量模式

开放式平台架构采用花岗岩，光学平面参考平台。测试仪可以测试变长200mm的扫描区域（更大的扫描范围选择亦可实现）。白光干涉仪要配合使用防震平台和隔音罩以确保绝对的消除噪音。

双模式三维轮廓仪的优势

组合是必要的而并非奢侈

通过利用接触式及非接触式双模式基于技术上的优势获得获得全面的表面特性。NanoMap-D给使用者带来更高水平的的测量灵活性。该平台几乎可以测量任何样品（甚至包括反射率0%，非平面样品）

优点

不足

光学

轮廓仪

没有接触
高灵敏度
高测量速度

材料表面要求
有限的表面坡度

接触式

轮廓仪

高可靠度测量
没有材料表面要求
更高的空间分辨率

需要接触样品表面
较低的测量速度

高清图像

2维、3维的直方图等视图

NanoMap-D 可以呈现2维和3维图像。利用所提供的软件，通过设置一些选项、可以得到客户需求的的曲线、标绘、视图（例如直方图及雷达图等）

3d High Res Images

High Res Images

光学三维轮廓仪

白光干涉

光学三维轮廓仪是一种非接触式白光干涉产生高分辨率的3D和2D表面图像的设备。它配备了放大倍数从1倍至100倍不等的多个物镜镜头。 AEP致力于日新月异的提高产品的的技术规范。对于最新的配置和规格，请与我们联系。

垂直分辨率	0.1nm, 0.02nm
搭载多镜头	最多可同时搭载6枚物镜
平台范围	150毫米x 150毫米（可选200毫米或更大）
物镜倍数	0.5x 到 100x
Z轴聚焦范围	0.1 nm to 10mm
倾斜角度	+/- 4 度
手动旋转平台范围	360度
像素标准	1024 x 1024, 可选1536 x 1536或1920 x 1920

多镜头物镜转换台

可以自动或手动调整的最多搭载六枚镜头的物镜转换台搭载最大到100X.的物镜镜头。

成像模式

NanoMap-D 兼有PSI（相移干涉模式）和WLI（白光干涉模式）两种模式.采用何种模式取决于使用场合。 PSI 模式用于表面粗超度、台阶高度等低于150nm的情况。

光源

NanoMap-D 干涉仪对其光源承诺史无前例的十年质保。高亮度的LED使反射率从小于0.4%到100%的样品均可清晰成像。测试仪允许用户更改可用波长扫描各种种样品。

接触式三维轮廓仪

接触式三维轮廓仪同时拥有探针扫描和样品台扫描两种模式

Tip Scan using Piezo drive

Stage Scan using linear drive

NanoMap-D 可以同时有探针扫描和样品台扫描两种模式。探针扫描利用电压驱动探针在最大范围达到500x500微米的区域内移动并且产生极高分辨率的图像。样品台扫描则是移动样品台来产生高分辨率的图像。因为电压驱动比XY轴运动更为精确所以探针扫描产生的图像要远远好于样品台扫描得到的图像。通过一个按键开关，可以选择三维轮廓仪使用探针扫描模式还是样品台扫描模式。

AEP致力于日新月异的提高产品的的技术规范。对于最新的配置和规格，请与我们联系。

垂直分辨率	高精度扫描0.1nm;大范围扫描0.01um
垂直测量范围	高精度扫描最大到 5um; 大范围扫描最大到 2000um
扫描范围	达到 150mm x 150mm (仍可提升)
XY 轴样品台扫描精度	0.1um;
探针压力	0.01mg到 100mg
光学观测系统视野范围	1.5 x 1.5mm
I明场、暗场调节	软件设置强度

软件

简单直观的软件

测试仪带有最新的基于Windows的操作系统。 NanoMap-D具有直观、方便的运行界面。一键切换功能使得样品的同一区域在非接触式和接触式三维轮廓仪之间自由切换。数据采集之后，利用强大的图形软件进行图像分析。下面列出软件包的几个特点：

三维虚拟化软件
画面和时间序列分析
内容丰富的表面粗糙度，平整度，波纹状和其他表面特征的列表
微粒及孔隙分析
力学曲线分析
扩展傅里叶分析
图像编辑功能 – 亮度，颜色，缩放功能等.
先进的统计分析
导出原始数据，图像，和整个报告的能力

计算机能力

高速处理

强大的64位硬件，多核处理器。并行的处理器配置允许独立的像素数据处理。测试仪带有最新的基于Windows的操作系统。软件包的一些特点如下：

应用

使用方法依照客户需求限定

台阶高度测量
表面粗糙度测量
量化划痕和刻划特征；磨损深度、宽度和体积
平整度或曲率测量
二维的薄膜应力测量
薄膜厚度
表面轮廓 - 缺损，形貌等

多功能特点

联系我们以获得更多信息

三维轮廓仪可以搭载多种选择，如预留多个卡槽可加载室真空室，样品加热器，整合了接触式轮廓仪，生物力学模块内置温度和湿度传感器，更大的扫描区域，经济的减振台，UPS不间断电源等。