光学三维轮廓仪用以非接触获得三维高清图像
光学性能与规格
光学轮廓仪参数性能
AEP致力于日新月异的改善产品性能。 欲了解最新的配置和性能，请与我们联系。
垂直分辨率 |
0.1nm, 0.02nm |
| 搭载多镜头 | 最多可同时搭载6枚物镜 |
| 平台范围 | 150毫米x 150毫米（可选200毫米或更大） |
物镜倍数 |
0.5倍到100倍 |
| Z轴聚焦范围 | 0.1纳米至10mm |
| 倾斜角度 |
+ / - 4度 |
| 手动旋转平台范围 | 360度 |
| 像素标准 | 1024×1024，可选的1536 x 1536或1920×1920 |
高清图像
2维、3维的直方图等视图
白光干涉可以呈现2维和3维图像。利用所提供的软件，通过设置一些选项、可以得到客户需求的的曲线、标绘、视图（例如直方图及雷达图等）
成像光源
长寿命强光LED，用户可自选波长范围
NanoMap-WLI 白光干涉三维轮廓仪对其光源承诺史无前例的十年质保。高亮的LED允许成像样品的反射率范围从小于0.4%到100%（高亮度的LED使反射率从小于0.4%到100%的样品均可清晰成像。）白光干涉光源承诺十年质保。
白光干涉三维轮廓仪也允许客户改变可用波长扫描各种样品。
平台
通用性和易用性
开放式平台架构采用花岗岩，光学平面参考平台。测试仪可以测试变长200mm的扫描区域（更大的扫描范围选择亦可实现）。白光干涉仪要配合使用防震平台和隔音罩 以确保绝对的消除噪音。
成像模式
使用的模式取决于测试样本
白光干涉仪有PSI（相移模式）和WLI（白光干涉模式）。使用哪种模式取决于位移范围。 PSI模式应用于表面粗糙度测量及台阶高度测量等场合。Z轴的测量范围在150nm以下。
多镜头转换台
可容纳多个放大倍率的物镜镜头
自动或手动的物镜转换器可容纳从0.5X到100X的6枚物镜。六手动或自动目标炮塔，以适应与0.5倍到100倍的放大倍率的镜头。诸如油镜，大景深物镜，宽视野物镜等多种镜头均可搭载。
软件和计算能力
简单、直观高速处理
强大的64位硬件，多核处理器。并行的处理器配置允许独立的像素数据处理。测试仪带有最新的基于Windows的操作系统。直观的一次点击运行界面。发布使用功能强大的图像处理软件的数据分析。下面列出软件包的几个特点：
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三维虚拟化软件
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画面和时间序列分析
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内容丰富的表面粗糙度，平整度，波纹状和其他表面特征的列表
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微粒及孔隙分析
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力学曲线分析
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扩展傅里叶分析
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滤镜
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友好的人机界面便于报告制作及编辑
- 图像编辑功能 – 亮度，颜色，缩放功能等
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尺寸，表面积，体积，磨损率分析
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晶粒计算，排序，和其他晶粒分析
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光谱，自校正，超维、分维分析
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先进的统计分析
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导出原始数据，图像，和整个报告的能力
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其他的功能
应用
使用方法依照客户需求限定
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台阶高度测量
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表面粗糙度测量
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量化划痕和刻划特征；磨损深度、宽度和体积
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平整度或曲率测量
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二维的薄膜应力测量
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薄膜厚度
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表面轮廓 - 缺损，形貌等
多功能特点
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三维轮廓仪可以搭载多种选择，如预留多个卡槽可加载室真空室，样品加热器，整合了接触式轮廓仪，生物力学模块内置温度和湿度传感器，更大的扫描区域，经济的减振台，UPS不间断电源等。
