具有探针扫描和样品台扫描两种扫描模式的
接触式三维轮廓仪
探针扫描和样品台扫描模式
探针扫描 (压力驱动) 可以得到很高的分辨率。
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NanoMap-LS 三维轮廓仪拥有探针扫描和样品台扫描两种模式。 探针扫描利用压力驱动探针在最大范围达到500x500微米的区域内移动并且产生极高分辨率的图像。样品台扫描则是移动样品台来产生高分辨率的图像。因为压力驱动比XY轴运动更为精确所以探针扫描产生的图像要远远好于样品台扫描得到的图像。使用者可以通过一个按键开关，选择 NanoMap-LS三维轮廓仪使用探针扫描模式还是样品台扫描模式。
技术规范
我们的技术水平在不断追求更高的目标。
AEP 致力于日新月异的改善产品性能。 欲了解最新的配置和性能，请与我们联系。
高精度扫描0.1nm;大范围扫描0.01um |
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| 垂直变化范围 | 高精度扫描最大到 5um; 大范围扫描最大到 2000um |
| 扫描范围 | 达到 150mm x 150mm (仍可提升) |
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XY 样品台扫描精度 0.1um; |
0.1um; |
| 探针压力 | 0.01mg到 100mg |
| 光学观测系统视野范围 | 1.5 x 1.5mm FOV |
| 亮场和暗场 | 软件设置强度 |
高清图像
2维、3维的直方图等视图
NanoMap-LS 可以呈现2维和3维图像。利用所提供的软件，通过设置一些选项、可以得到客户需求的的曲线、标绘、视图（例如直方图及雷达图等）
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平台
通用性和易用性
开放式平台架构采用花岗岩，光学平面参考平台。测试仪可以测试变长200mm的扫描区域（更大的扫描范围选择亦可实现）。白光干涉仪要配合使用防震平台和隔音罩 以确保绝对的消除噪音。
软件和计算能力
简单、直观高速处理
强大的64位硬件，多核处理器。并行的处理器配置允许独立的像素数据处理。测试仪带有最新的基于Windows的操作系统。直观的一次点击运行界面。发布使用功能强大的图像处理软件的数据分析。下面列出软件包的几个特点：
三维虚拟化软件
画面和时间序列分析
内容丰富的表面粗糙度，平整度，波纹状和其他表面特征的列表
微粒及孔隙分析
力学曲线分析
扩展傅里叶分析
滤镜
友好的人机界面便于报告制作及编辑。
图像编辑功能 – 亮度，颜色，缩放功能等。
尺寸，表面积，体积，磨损率分析
晶粒计算，排序，和其他晶粒分析
光谱，自校正，超维、分维分析
先进的统计分析
导出原始数据，图像，和整个报告的能力
其他的功能
应用
使用方法依照客户需求限定
台阶高度测量
表面粗糙度测量
量化划痕和刻划特征；磨损深度、宽度和体积
平整度或曲率测量
二维的薄膜应力测量
薄膜厚度
表面轮廓 - 缺损，形貌等
多功能特点
联系我们以获取更多信息
三维轮廓仪可以搭载多种选择，如预留多个卡槽可加载室真空室，样品加热器，整合了接触式轮廓仪，生物力学模块内置温度和湿度传感器，更大的扫描区域，经济的减振台，UPS不间断电源等。
