Surface Roughness Example

低于埃级的表面粗糙度测量

表面粗糙度是一个量化表征线性轮廓或者某个面积的相对粗糙程度的参数。使用AEP 三维轮廓仪 — 接触式和基于光学的三维轮廓仪可以为任何类型的表面做表面粗糙度测量的工作。

以下是一些技术上选择模式的建议

光学三维轮廓仪 NanoMap-WLI

下面提到的两种模式被集成到一个模块上。
白光干涉扫描 /粗扫模式适用于10mm > 磨痕 > 150nm。
相移干涉扫描/精扫模式适用于磨痕 < 150nm。

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接触式三维轮廓仪 NanoMap-LS

可以以高三维分辨率测试上限达1毫米（1000微米）的表面粗糙度。
测试表面有较大坡度样品较光学三维轮廓仪更有优势。
无需考虑样品光学反射能力，对于表面污垢的样品也较光学三维轮廓仪有更大的优势。

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接触式+光学三维轮廓仪 NanoMap-D

双模式的 NanoMap 兼备了接触式及光学模式于一身，它可以用来测量任何样品的台阶高度—薄的、厚的、不平整的等等，测量范围从nm到50mm

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