薄膜应力测量

AEP公司产品有高精确度，灵活，易于使用等特点。它们被用于各种各样的应用。下面的列表代表了几个可能的各种应用。

有很多情况下要求台阶高度测量有很好的重复性和很高的精度。 AEP 的三维轮廓仪—接触式或者基于光学的三维轮廓仪均可以满足测试需求。

以下是一些技术上选择模式的建议

光学三维轮廓仪 NanoMap-WLI

脆性/ 弯曲的材料可以用光学三维轮廓仪测试。长距离的曲率测量（几个毫米以内）可以用来计算薄膜的应力。

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接触式三维轮廓仪 NanoMap-LS

脆性/ 弯曲的材料可以用接触式三维轮廓仪测试。长距离的曲率测量（几个毫米以内）可以用来计算薄膜的应力。

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接触式+光学三维轮廓仪 NanoMap-D

双模式的 NanoMap 兼备了接触式及光学模式于一身，它可以用来测量任何样品的台阶高度—薄的、厚的、不平整的等等，测量范围从nm到10mm

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