Step Height Example

小于埃级分辨率的台阶高度测量

AEP公司产品有高精确度，灵活，易于使用等特点。它们被用于各种各样的应用。下面的列表代表了几个可能的各种应用。

有很多情况下要求台阶高度测量有很好的重复性和很高的精度。 AEP 的三维轮廓仪—接触式或者基于光学的三维轮廓仪均可以满足测试需求。

以下是一些技术上选择模式的建议

光学三维轮廓仪 NanoMap-WLI

下面提到的两种模式被集成到一个模块上。
白光干涉扫描 /粗扫模式适用于10mm > 磨痕 > 150nm。
相移干涉扫描/精扫模式适用于磨痕 < 150nm。

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接触式三维轮廓仪 NanoMap-LS

可以以高三维分辨率测试上限达500微米（0.5毫米）的磨痕。
测试表面有较大坡度样品较光学三维轮廓仪更有优势。
无需考虑样品光学反射能力，对于表面污垢的样品也较光学三维轮廓仪有更大的优势。

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接触式+光学三维轮廓仪 NanoMap-D

双模式的 NanoMap 兼备了接触式及光学模式于一身，它可以用来测量任何样品的台阶高度—薄的、厚的、不平整的等等，测量范围从nm到10mm

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